真空モータ開発中
真空環境対応μDDモータを開発中です
現在、当社では真空環境での使用に対応した小型・中空構造のダイレクトドライブ（DD）モータを開発しています。
真空装置や半導体製造装置など、厳しい条件下での高精度な位置決め・回転制御が求められる用途に最適な製品を目指しています。
高真空(10⁻⁴ Pa)環境下で悪影響なく使用可能
開発中のモータは、10⁻⁴ Paレベルの高真空環境においても動作に支障をきたすことなく安定したパフォーマンスを維持できる設計を採用しています。
真空機器や分析装置においても、高精度な制御が可能です。
アウトガス低減設計により真空チャンバー内を清浄に保って使用可能
材料選定および構造設計の工夫により、モータからのアウトガス発生を大幅に抑制。
真空チャンバー内部の清浄度を長時間維持できるよう配慮された設計となっており、真空品質を重視するプロセスでも安心してご使用いただけます。
USクラス10をクリアできるほどのパーティクル量
モータ駆動時に発生する微粒子（パーティクル）量も厳しく管理しており、US FED STD 209Eでクラス10の清浄度要件を満たすレベルを実現しています。
クリーンルームや極限環境での使用にも対応可能です。
