第２回九州半導体産業展に出展いたします
平素より格別のご高配を賜り、誠にありがとうございます。
このたび弊社では、昨年に引き続き九州半導体産業展に出展いたします。
本展示では、半導体製造プロセスの精度・効率・クリーン性を向上させるソリューションを中心にご紹介いたします。
○主な出展予定内容
高真空対応の中空ダイレクトドライブモータ[参考出展]
10⁻⁴ Pa環境下でも安定駆動。アウトガス・パーティクル低減設計により、真空装置への搭載に最適です。
スピナー特化 高回転仕様 MDH(55)-100シリーズ [開発品]
スピナー軸の高精度高回転の両立、チャンバー全体の小型化が可能です。
搬送向けハイトルク仕様 MDH-10036シリーズ [開発品]
ギアやベルトを省略でき、高精度・高加速駆動化や振動・発塵の軽減が可能です。
中空軸にエアチューブやケーブル貫通させることで省スペース化が可能です
精密θステージ特化型 MRS-100シリーズ [開発品]
クロスローラベアリング搭載で高剛性かつモータ単体での精密回転を実現できます。
用途別カスタム提案・導入事例のご紹介
半導体製造の前工程・後工程での導入事例を通じて解決策をご提案します。
概要
会期：2025年10月8日(水)・9日(木)
時間：10:00～17:00
会場：マリンメッセ福岡 A・B館 〒812-0031 福岡県福岡市博多区沖浜町２−１
ブース：B9-18
参加費：無料 ※事前登録必要
参加登録は展示会の公式ページへ (外部サイト）※画像クリックで公式HPへジャンプします。
- エンコーダ
