SEMICON JAPAN2025に出展します

出展情報

平素より格別のご高配を賜り、誠にありがとうございます。
このたび弊社では、昨年に引き続き九州半導体産業展に出展いたします。
本展示では、

・低発塵化やコンタミ対策を強化したい
・装置のタクトタイム短縮と高精度化を両立したい
・ケーブル取り回しを簡単に、設計をシンプルにしたい

などの課題に対してのソリューションを展示いたします。

出展日時：2025年12月17日〜19日

出展場所：東京ビッグサイト

小間番号：E6601

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・開発中のモータは、10⁻⁴ Paレベルの高真空環境においても動作に支障をきたすことなく安定したパフォーマンスを維持できる設計を採用しています。
真空機器や分析装置においても、高精度な制御が可能です。

・材料選定および構造設計の工夫により、モータからのアウトガス発生を大幅に抑制。
真空チャンバー内部の清浄度を長時間維持できるよう配慮された設計となっており、真空品質を重視するプロセスでも安心してご使用いただけます。

・モータ駆動時に発生する微粒子（パーティクル）量も厳しく管理しており、US FED STD 209Eでクラス10の清浄度要件を満たすレベルを実現しています。
クリーンルームや極限環境での使用にも対応可能です。

・外形φ100・中空径φ55㎜のダイレクトドライブモーターです。
・クロスローラベアリングを内蔵し、アキシャル荷重1500Nまで許容。
・面精度±5μm、NRROの向上によりウエハ検査などの精密回転に対応。
※現在開発中の製品のため、仕様が変更される場合がございます。

中空軸配線とエアーチューブの一本化により、装置を省スペース化。
μDDモータの強みを最大限に生かしたスカラデモ。
高分解能エンコーダの一体成型構造により繰り返し精度1μmを達成可能。
水晶振動子やチップなどのアライメントヘッドθ軸に最適。

主な用途：◎ダイボンダ ◎ワイヤーボンダー ◎フリップチップボンダ ◎マウンタ ◎ウエハ搬送ロボットetc.

外径φ30の小型中空モータを三軸使用したウエハの昇降デモ機。
モータの中空軸にボールねじを貫通させた設計で、全長を抑えつつ一軸120N以上の推力を実現。
外力を電流としてフィードバックすることで、最小の予知検出システムを構築可能。

マイクロDDモータを各軸に使用した搬送用スカラロボットです。
ダイレクトドライブ駆動でバックラッシのない滑らかな動作と静音性を両立。
低振動・高応答性により、クリーンルーム環境での繊細なハンドリングにも対応します。

会場では、技術者が直接デモ機の操作説明や応用事例をご紹介いたします。
ご興味をお持ちの方は、ぜひお立ち寄りください。

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皆さまのご来場を心よりお待ちしております。