スピナー特化 高回転仕様
MDH(55)-100シリーズ

精密θステージ特化型
MRS-100シリーズ

ウエハ搬送向け高トルクモデル
MDH-10036シリーズ

■ 主な仕様
・中空径：φ55mm
・最高回転速度：3,000rpm
・最大トルク：10Nm
・位置分解能：21bit

■ 主な仕様
・中空径：φ55mm
・面精度：±5μm
・アキシャル荷重：1,500N
・位置分解能：21bit

■ 主な仕様
・中空径：φ40mm
・定格回転速度：200rpm
・瞬時最大トルク：18Nm
・位置分解能：21bit

■ 特長
・スピナー軸で低リップルと高回転を同時に実現

・中空軸での真空チャックや大イナーシャ比が許容可能なため、チャンバー全体の小型化に貢献

・ベルト等の中間機構を廃止してスピナー低発塵化

■ 特長
・クロスローラベアリングを搭載し、小型高剛性かつ50％以上の中空径を実現したθ回転特化型

・据置で高精度回転を直ちに実現できるため、ロータリーアクチュエーターのアップグレードにも最適

■ 特長
・外径φ100mmを維持しつつMDHシリーズ最大のトルク性能を更新

・ウエハの搬送アームなど、低振動かつ小型高トルクが要求される箇所でも高い搬送安定性を実現可能

■使用例　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ウエハ洗浄・研磨駆動

■使用例　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ウエハ検査 ・ インデックス駆動

■使用例　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ウエハ搬送ロボット